HIVAC-F4 技術參數：
 外 觀：無色透明液體 

粘度25℃mm2/s*：37                                 比重25℃：1,065 

揮發部分150/24h(%)：B.P210℃/5mmHg       粘度溫度系數V．T．C：0.78 

折射率25℃：1.555   

用 途：高真空油擴散泵用。耐酸性、抗化學藥品性好?？扇〉?0-7～10-12Torr*2的高真空。

 信越HIVAC-F4/HIVAC-F5具有非常優異的耐氧化性、熱穩定性、耐化學藥品性的苯甲基有機硅油。
像石油類泵用油以及脂肪酸酯類的泵用油一樣，不會出現由于熱以及氣體吸附所造成的熱破裂現象。
另外，在加熱狀態下，幾乎完全不會出現因真空破壞時發生氧化產生氣體以及生產酸、焦油、
瀝青類的物質等現象。因此，即使是長期使用也能夠保證真空泵的穩定運行。